加熱式電容膜片真空計 SKY@CDG160D/CDG200D     INFICON  SKY  CDG160D和CDG200D  高溫壓力計是實現(xiàn) 精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D  和CDG200D 真空計溫度分別控制在160°℃和200℃,具有的性 
 
 
 
 
 
 
 
  
 
 
 能,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在1托至1000托 滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場 總線接口,能夠提供0至10伏、不受氣體類型限制的線性 壓力信號。INFICON  電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔 膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從 大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu) 勢 。INFICON   CDG壓力傳感器品質(zhì)本效 益,適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。   優(yōu)勢 ·擁有成本更低,預(yù)熱速度快50%,節(jié)能,低功耗 ·易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標(biāo)配兩個設(shè)定點 ·輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令,可調(diào)零點偏移 ·診斷端口用于快速維修和維護 ·兩年保修服務(wù), HT 加熱概念和真空計保護延長了使用壽 命 的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使是最嚴苛的等離子 應(yīng)用,都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn) ·合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn):CE、EN、UL、SEMI、RoHS 應(yīng)用范圍 ·蝕刻、CVD、PVD及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程 ·化學(xué)和腐蝕性高溫過程 ·需要真空計保護的一般薄膜和真空過程   
   
 SKY@CDG160D/CDG200D    
 
 
     1)   優(yōu)化的壓力控制信號濾波器設(shè)置 2)   不能使用現(xiàn)場總線接口     
 粗體=標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品 其他法蘭類型可按要求提供。      
  
  
    SKY@CDG160D/CDG200D   規(guī)格(以托為單位的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品)   測量范圍  | 托  | 1000  |   100             10
  |  1
  |  FS(滿刻度)  | 毫巴 帕  | 133,322 1333  | 13,332           1,333 133            13.3  | 133 1.3  |  精度1)  | 讀數(shù)%  | 
  | 0.4  | 
  |  溫度效應(yīng)  | 
  | 
  | 
  | 
  |  需點  | %FS/℃  | 
  | 0.005  | 
  |  滿量程  | 讀 數(shù) % / ℃  | 
  | 0.02  | 
  |  最大壓力  | 千帕(絕對)  | 400  | 260             260  | 260  |  分辨率  | %FS  | 
  | 0.003  | 
  |  讀數(shù)  | %FS  | 
  | 0.01  | 
  |  建議的讀數(shù)  | %FS  | 
  | 0.05  | 
  |  建議的控制 壓力  |   %FS  | 
  |   0.5  | 
  |  溫度  | 
  | 
  | 
  | 
  |  運行(環(huán)境)2  | ℃  | 
  | +10 .+50  | 
  |  在法蘭處烘烤  | ℃  | 
  | ≤200  | 
  |  存儲  | ℃  | 
  | -20 .…+65  | 
  |  電源電壓  | 
  | 
  | +21 …+30伏(直流)或±15伏(±5%)  | 
  |  加熱時功耗  | 
  | 
  | 
  | 
  |  CDG160D  | W  | 
  | ≤18  | 
  |  CDG200D  | W  | 
  | ≤25  | 
  |  運行溫度時的功耗 CDG160D CDG200D  |     W W  | 
  |   ≤12 ≤18  | 
  |  輸出信號(模擬)  | 伏(直流)  | 
  | 0.…+10  | 
  |  響應(yīng)時間3)  | 毫秒  | 
  | 30  | 
  |  防護等級  | 
  | 
  | IP 40  | 
  |  標(biāo)準(zhǔn) CE符合性 ETL認證 SEMI合規(guī)性  | 
  | 
  |   EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010 UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 SEMI S-2  | 
  |  電氣連接  | 
  | 
  | D-Sub,15針,公頭  | 
  |  設(shè)定值  | 
  | 
  | 2個設(shè)定點(SP1、SP2)  | 
  |  繼電器觸點  | 伏(直流)/安(直  | 
  | ≤30/≤0.5  | 
  |  滯后  | 流 ) %FS  | 
  | 1  | 
  |  診斷端口 協(xié)議 讀 設(shè)置 暴露于真空的材料  | 
  | 
  |   RS232-C 壓力、狀態(tài)、ID 設(shè)定點、過濾器、調(diào)零、出廠設(shè)置復(fù)位、直流偏置 氧化鋁陶瓷(Al?O?)、不銹鋼(AISI 316L?)  | 
  |  
 1)在25°℃環(huán)境運行溫度下表現(xiàn)為非線性、滯后、再現(xiàn)性,運行兩小時后無溫度效應(yīng) 2) 環(huán)境溫度>40℃,可能會使表面溫度高于SEMIS2 合規(guī)水平—標(biāo)記“小心燙傷!" 3)增加10.…90% FS 4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe       
 
 
 
           
   SKY@CDG160D/CDG200D    
 
 
   
 
   SKY@CDG160D/CDG200D   DEVICENET規(guī)格   DeviceNetTM  |  協(xié)議  | DeviceNetTM,僅第2組從屬  |  數(shù)據(jù)率開關(guān)                         千波特  | 125、250、500或可網(wǎng)絡(luò)編程  |  電纜長度 125 kbps                           米(英尺) 250 kbps                           米(英尺) 500 kbps                           米(英尺)  |   500(1650) 250  (825) 100  (330)  |  MAC ID  | 兩個開關(guān)(地址00-63)或可網(wǎng)絡(luò)編程  |  數(shù)字功能  | 讀取壓力,選擇單位:托、毫巴、帕 脫氣功能,皮拉尼滿刻度調(diào)節(jié) 監(jiān)測真空計狀態(tài) 安全狀態(tài)允許定義出錯時的行為 詳細的警報和警告信息  |  模擬功能  | 0 …10伏模擬輸出壓力指示 兩個設(shè)定點繼電器A+B  |  視覺通訊指示燈  | LED網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)(綠色/紅色) LED模塊狀態(tài)(綠色/紅色)  |  規(guī)格  | DeviceNetTM“真空計設(shè)備概況"  |  設(shè)備類型  | “CG"表示組合儀表  |  /O從屬傳訊  | 只輪詢  |  設(shè)定點繼電器 范圍 繼電器觸點 滯后 觸點額定值  |   毫巴   讀數(shù)% 伏/安(直流)  | 2 1×10°…100 常開,無電勢 10 60/0.5  |  DeviceNetTM的電源電壓 真空計的電源電壓 DeviceNetTM的連接器  | 伏/安(直流) 伏/安(直流)  | +11-+25/0.5 +20 -+28/0.8 微型,5針 D-Sub,15針,公頭  |  真空計的連接器(模擬輸出、電源電壓、 設(shè)定點  |  
       
 PROFIBUS Profibus 
 
 D規(guī)格 DP   
   波特率  | 千波特 兆 波 特  | 9.6/19.2/93.75/187.5/500 1.5/12  |  地址  |  兩 個 開 關(guān) ( 地 址 0 0 - 1 2 7 ) 或 可 網(wǎng) 絡(luò) 編 程  |  數(shù)字功能  | 
  | 讀取壓力,選擇單位:托、毫巴、帕 脫氣功能,皮拉尼滿刻度調(diào)節(jié) 監(jiān)測真空計狀態(tài)、燈絲狀態(tài) 安全狀態(tài)允許定義出錯時的行為 詳 細 的 警 報 和 警 告 信 息  |  模擬功能  | 
  | 0…10伏模擬輸出壓力指示 兩 個 設(shè) 定 點 繼 電 器 A + B  |  設(shè)定點繼電器  | 
  | 2  |  范圍  | 毫巴  | 1×10?.…100  |  繼電器觸點  | 
  | 常開,無電勢  |  滯后  | 讀 數(shù) %  | 10  |  觸點額定值  | 伏/安(直流)  | ≤30/≤0.5  |  Profibus  DP的連接器  | 
  | D-Sub,9  針,母頭  |  BPG 的連接器(模擬輸出、電源電壓、設(shè) 定 點 )  | 
  | D-Sub,15    針,公頭  |  
                
 
 
 SKY@CDG160D/CDG200D      
 
 
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