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法國piezoconcept納米定位器產(chǎn)品特點(diǎn)與用途
點(diǎn)擊次數(shù)：142 更新時(shí)間：2025-08-14
 

法國Piezoconcept納米定位器技術(shù)概覽

 

 

一、品牌與產(chǎn)品概述

Piezoconcept是一家專注于高精度運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)的企業(yè)，主要研發(fā)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的納米定位系統(tǒng)。其產(chǎn)品以緊湊設(shè)計(jì)、高分辨率和快速響應(yīng)為特點(diǎn)，適用于需要微米甚至納米級(jí)定位的場(chǎng)景。

 

二、產(chǎn)品類型

? 六軸納米定位臺(tái)：支持多自由度運(yùn)動(dòng)

? 三軸線性位移臺(tái)：XYZ方向平移

? 旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)：?jiǎn)屋S角度調(diào)整

? 傾斜調(diào)整臺(tái)：用于光束對(duì)準(zhǔn)

? 混合定位系統(tǒng)：結(jié)合壓電與電機(jī)驅(qū)動(dòng)

? 樣品臺(tái)適配器：兼容顯微鏡載物臺(tái)

? 高速控制器：提升動(dòng)態(tài)響應(yīng)

? 傳感器模塊：集成位置反饋

 

三、主要型號(hào)與技術(shù)參數(shù)

1、LT6六軸臺(tái)

? 運(yùn)動(dòng)范圍：100×100×100μm至300×300×300μm

? 分辨率：0.1nm（XYZ軸）

? 諧振頻率：500Hz（X軸）

 

2、PT3三軸臺(tái)

? 行程：500μm（每軸）

? 閉環(huán)精度：±0.02%

 

3、RT1旋轉(zhuǎn)臺(tái)

? 角度范圍：±5°

? 分辨率：1μrad

 

4、HT200混合臺(tái)

? 粗定位步進(jìn)：10mm

? 精定位壓電：200μm

 

5、MS50顯微鏡載物臺(tái)

? 兼容標(biāo)準(zhǔn)物鏡

? 負(fù)載：1kg

 

6、SC100高速控制器

? 帶寬：10kHz

? 接口：USB/Ethernet

 

四、核心特點(diǎn)

1、高分辨率運(yùn)動(dòng)：

采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，部分型號(hào)可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)步進(jìn)。

2、緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：

部分定位臺(tái)厚度小于20mm，適合集成到光學(xué)設(shè)備中。

3、多自由度配置：

提供三軸、六軸等組合，適應(yīng)復(fù)雜定位需求。

4、模塊化兼容：

控制器與定位臺(tái)采用標(biāo)準(zhǔn)化接口，支持靈活組合。

5、實(shí)時(shí)反饋控制：

部分型號(hào)集成傳感器，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置調(diào)節(jié)。

 

五、應(yīng)用領(lǐng)域

1、光學(xué)顯微成像：

用于共聚焦顯微鏡的樣品精確定位。

2、半導(dǎo)體檢測(cè)：

晶圓或掩模版的微米級(jí)對(duì)齊。

3、生物技術(shù)實(shí)驗(yàn)：

細(xì)胞操作或微注射過程中的穩(wěn)定定位。

4、精密制造：

小型元件的裝配與加工。

5、科研儀器開發(fā)：

集成到光譜儀、干涉儀等設(shè)備中。

 

六、技術(shù)原理簡(jiǎn)述

壓電陶瓷材料在電壓作用下發(fā)生形變，通過機(jī)械放大結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換為位移。閉環(huán)型號(hào)通過傳感器反饋實(shí)時(shí)修正位置誤差，開環(huán)型號(hào)依賴驅(qū)動(dòng)電壓的線性控制。
 
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